超快激光在蓝宝石玻璃加工方面应用强大-【zixun】

近年来，一种激动人心的替代性工艺已投入工业应用，即使用超快激光器在近红外波长范围内产生次皮秒脉冲。在这一方法中，超短脉冲紧密聚焦于玻璃的大部分或表面，每平方厘米的功率密度超过数太瓦，引发复杂多样的工艺，如同时多光子吸收、雪崩和碰撞电离，造成对玻璃基质高度局域化的破坏，同时几乎不存在能量沉积（只有几微焦甚至更少）。由于每次脉冲所用能量极其适度，对该部位（甚至是聚焦体积）造成的热影响可以忽略不计。这一方法通常被称为“冷消融”，可以用来制造极为准确的3D结构。和其他微制造技术相比，飞秒激光微制造透明材料具有独特优势。

加工强化玻璃

智能手机的兴起加大了显示屏的重要性。智能触摸显示屏（触摸屏）已经超越了手机键盘成为较主要的用户界面。典型的智能手机包括四块玻璃平板：两块在显示屏上，容纳薄膜晶体管和液晶材料；一块提供触摸功能；还有一块化学钢化玻璃盖板保护底层免于划伤，冲击损伤和脏物。由于用户想要轻便、纤薄的智能手机，更薄的玻璃面板被使用。典型的玻璃显示面板为0.3毫米厚；化学钢化玻璃盖板0.7毫米厚。这使得传统的切割工艺达到了极限。切削轮子已经不适合加工这种玻璃，因为他们都经过特殊的化学强化处理，而铣削加工则需要大量研磨和抛光上的返工工作。

红外和绿光波长的超短脉冲激光器正好可用于这种材料的加工。皮秒脉冲能减少裂缝的产生，切割质量远远超过普通的铣削加工。激光光束多次扫过被加工材料来实现切割。速度，边缘质量和边缘的角度可以由加工策略来决定。相对于其他的激光工艺，烧蚀工艺更稳妥：例如，轻微变形的玻璃并不影响加工结果。在测试中，使用绿光皮秒激光器，"CorningEagleXG"的弯曲强度达280兆帕。使用红外皮秒激光器的测试结果表明速度增加三倍，边缘的弯曲强度略低。

更强大的皮秒激光器使我们有更大的机会来提高加工玻璃的效率。我们比较钢材和玻璃的烧蚀速度以及加工效率时这种机会尤为明显。（图5）由于等离子体屏蔽的原因，钢材的烧蚀效率在5J/cm2的脉冲能量密度时开始降低，而玻璃允许更高的脉冲能量密度，直到加工效率达到较高。因此当加工玻璃时，更高的脉冲能量可以转化为更高的烧蚀效率。

当考虑进一步降低玻璃的重量和厚度时，人们可能会使用超薄玻璃。50微米厚的玻璃处理起来更微妙，对于机械加工也更敏感。事实上，这样的玻璃不用激光来加工已经是不可能了。

适用于任何棘手情况的蓝宝石

蓝宝石是地球上仅次于钻石第二坚硬的材料，很难使用机械的方法来加工。使用激光器来切割蓝宝石是当今LED制造业的标准加工方法，蓝宝石在这里用作基板衬底。由于其抗划伤性和透光性，蓝宝石会用来生产手表和光学仪器的保护镜面。

当加工细小的轮廓时，超短脉冲激光器可以实现精准的加工。例如当切割圆形部件和钻微孔时，柔性的轮廓加工可以通过高速扫描器来实现。超短脉冲除去了加工时的热影响，从而产生极好的切割边缘质量。图6显示了0.4毫米厚的圆形、正方形和三角形轮廓，使用TruMicro5070红外皮秒激光切从蓝宝石上切割下来。较小轮廓尺寸是0.2毫米。与超短脉冲相结合的智能加工方式可以避免形成缺口及开裂。经验表明100微焦左右的脉冲能量是较佳的。例如，将脉冲能量为250微焦的激光光束分成两个125微焦的独立激光光束同时加工两个零部件就可以获得更高的产量。卓越的加工质量取决于加工方法、除尘和工件夹具之间的适宜的配合。

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